Контроль влажности в инертных газах до 400 атмосфер | ЭКСИС | ПромоСтраницы
Контроль влажности в инертных газах до 400 атмосфер
ЭКСИС
размещено на Промо​​​​​​​Страницах

Как исключить дефекты и обеспечить стабильный выход продукции при полупроводниковом производстве

На производстве полупроводников контроль влажности в камерах с инертным газом под давлением критичен для качества литографии. Использование гигрометров ИВГ-1 (измерители влажности газов отечественного производства — АО «ЭКСИС») позволяет в режиме реального времени контролировать точку росы, оперативно реагировать на отклонения и избежать брака, простоя и затрат.

Контроль влажности в инертных газах до 400 атмосфер
Контроль влажности в инертных газах до 400 атмосфер

Почему контроль точки росы так важен?

В системах с инертными газами под давлением даже минимальная влажность приводит к окислению, дефектам и сбою технологического процесса. Постоянный контроль с помощью ИВГ-1 исключает такие риски.

Стационарные анализаторы влажности для инертных газов под давлением от 1 до 400 атм

Проверенные измерители влажности газов ИВГ-1 от компании АО «ЭКСИС» применяются в микроэлектронике, включая производство полупроводников, где требуется точность и надежность контроля влажности в камерах с инертной средой.

Контроль влажности в инертных газах до 400 атмосфер
Контроль влажности в инертных газах до 400 атмосфер

Видеообзор измерителей точки росы серии ИВГ-1

Основные характеристики ИВГ-1

Диапазон измерения влажности: от -80 до 0°С ±2°С по точке росы — идеально для глубокой сушки инертных газов. Рабочее давление до 400 атм (Д1 - до 25, Д2 - до 160, Д3 - до 400 атм). Расход газа через сенсор — 20–60 л/ч. Стационарные модели ИВГ-1 доступны в взрывозащищенном исполнении для безопасной эксплуатации.

1/4
Контроль влажности в инертных газах до 400 атмосфер
Контроль влажности в инертных газах до 400 атмосфер
Измерительные блоки ИВГ-1 щитового исполнения. Врезной корпус (слева) и щитовой корпус с креплением на DIN-рейку
Измерительные блоки ИВГ-1 щитового исполнения. Врезной корпус (слева) и щитовой корпус с креплением на DIN-рейку
Контроль влажности в инертных газах до 400 атмосфер
Контроль влажности в инертных газах до 400 атмосфер
Контроль влажности в инертных газах до 400 атмосфер
Контроль влажности в инертных газах до 400 атмосфер
Контроль влажности в инертных газах до 400 атмосфер
Контроль влажности в инертных газах до 400 атмосфер
Измерительные блоки ИВГ-1 щитового исполнения. Врезной корпус (слева) и щитовой корпус с креплением на DIN-рейку
Измерительные блоки ИВГ-1 щитового исполнения. Врезной корпус (слева) и щитовой корпус с креплением на DIN-рейку
Измерительные блоки ИВГ-1 щитового исполнения. Врезной корпус (слева) и щитовой корпус с креплением на DIN-рейку
Контроль влажности в инертных газах до 400 атмосфер
Контроль влажности в инертных газах до 400 атмосфер
Контроль влажности в инертных газах до 400 атмосфер

Стационарные модели поддерживают Modbus, имеют токовые выходы (4-20 мА), реле и интерфейсы RS-485/Ethernet. Все устройства объединяются в сеть через ПО Eksis Visual Lab — обеспечивается централизованный контроль нескольких точек.

Контроль влажности в инертных газах до 400 атмосфер
Контроль влажности в инертных газах до 400 атмосфер
Контроль влажности в инертных газах до 400 атмосфер
Контроль влажности в инертных газах до 400 атмосфер

Все конфигурации стационарных блоков ИВГ-1 на сайте производителя. Комплектуются преобразователями ИПВТ-08 с кабелем до 1000 м — удобно для распределённых систем.

Контроль влажности в инертных газах до 400 атмосфер
Контроль влажности в инертных газах до 400 атмосфер

Стандартный кабель преобразователя ИПВТ-08 (в комплекте) 10 м , возможно удлинение при оформлении заказа (макс. длина кабеля 1000 м).

1/4
Контроль влажности в инертных газах до 400 атмосфер
Контроль влажности в инертных газах до 400 атмосфер
Основные варианты монтажа датчика влажности ИВГ-1 и датчика давления (дополнительная опция)
Основные варианты монтажа датчика влажности ИВГ-1 и датчика давления (дополнительная опция)
Контроль влажности в инертных газах до 400 атмосфер
Контроль влажности в инертных газах до 400 атмосфер
Контроль влажности в инертных газах до 400 атмосфер
Контроль влажности в инертных газах до 400 атмосфер
Контроль влажности в инертных газах до 400 атмосфер
Контроль влажности в инертных газах до 400 атмосфер
Основные варианты монтажа датчика влажности ИВГ-1 и датчика давления (дополнительная опция)
Основные варианты монтажа датчика влажности ИВГ-1 и датчика давления (дополнительная опция)
Основные варианты монтажа датчика влажности ИВГ-1 и датчика давления (дополнительная опция)
Контроль влажности в инертных газах до 400 атмосфер
Контроль влажности в инертных газах до 400 атмосфер
Контроль влажности в инертных газах до 400 атмосфер

Для интеграции в системы контроля предусмотрены модели без внешних блоков ИВГ-1 Н — с цифровым интерфейсом RS-485 и токовым выходом, с индикацией и без.

Контроль влажности в инертных газах до 400 атмосфер
Контроль влажности в инертных газах до 400 атмосфер

Также доступны портативные версии без взрывозащиты. Модель ИВГ-1 К-П-Т поддерживает подключение датчика давления и автоматический пересчёт показаний влажности — важно при изменении давления в системе.

Контроль влажности в инертных газах до 400 атмосфер
Контроль влажности в инертных газах до 400 атмосфер

Подробности по комплектации, монтажу и моделям — в печатной версии каталога.

Подбор оборудования и заказ — на сайте производителя.
АО «ЭКСИС»
Москва, Зеленоград, проезд 4922-й, дом 4, строение 2
8 (800) 707-75-45 8 (800) 222-97-07 (бесплатно по РФ)
eksis@eksis.ru

Срок действия свидетельства об утверждении типа средств измерений RU.C.31.001.А № 69186/1 на измерители влажности газов ИВГ-1 продлен до 24 января 2028 г.

Видеообзор измерителей точки росы серии ИВГ-1

Листая дальше, вы перейдёте на eksis.ru